جمعه, ۱۴ اردیبهشت, ۱۴۰۳ / 3 May, 2024
مجله ویستا
طراحی و ساخت حسگر شار گاز و غشا نازک شیشه ای به روش لایه نشانی و ریزماشینکاری
حسگرهای شار گاز با استفاده از تکنیک لایه های نازک ساخته شده اند. این حسگر از نوع گرمایی بوده و براساس اختلاف دمای ناشی از عبور جریان هوا از روی یک گرمکن الکتریکی کار می کند. عنصر حساس به دما در این حسگر، دو سری آرایه ترموکوپلی متشکل از بازوهایی از جنس نیکل و کرم است. این حسگر می تواند جریان های هوا در حدود ۱۰ sccm تا ۱۰۰۰۰ sccm را اندازه گیری نماید و به راحتی امکان تولید انبوه آن وجود دارد. طراحی و ساخت ماسک، لایه نشانی های مختلف و لیتوگرافی این لایه ها با موفقیت انجام شده است، ریزماشینکاری بر روی شیشه جهت ساخت غشا شیشه ای مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج به دست آمده از آزمایش های انجام شده بر روی این حسگرها نشان می دهد که رفتار حسگر تا ۱۰۰۰ sccm کاملا خطی است که قابل توجه می باشد. در ادامه، طرحی جدید در ساختار هندسی این افزاره که می تواند حساسیت افزاره را افزایش دهد، ارایه می شود.
مرتضی مظفری
عزت اله ارضی
سیدشمس الدین مهاجرزاده
عزت اله ارضی
سیدشمس الدین مهاجرزاده
منبع : پایگاه اطلاعات علمی
نمایندگی زیمنس ایران فروش PLC S71200/300/400/1500 | درایو …
دریافت خدمات پرستاری در منزل
pameranian.com
پیچ و مهره پارس سهند
تعمیر جک پارکینگ
خرید بلیط هواپیما
عراق دانشگاه تهران انتخابات حسن روحانی مجلس شورای اسلامی نیکا شاکرمی دولت دولت سیزدهم چین رهبر انقلاب مجلس بابک زنجانی
ایران بارش باران تهران هواشناسی یسنا هلال احمر روز معلم آتش سوزی پلیس معلم سیل شهرداری تهران
سهام عدالت قیمت خودرو قیمت طلا بازار خودرو حقوق بازنشستگان قیمت دلار خودرو بانک مرکزی ایران خودرو سایپا کارگران ارز
عمو پورنگ لیلا بلوکات سریال موسیقی پردیس پورعابدینی تلویزیون عفاف و حجاب صداوسیما مسعود اسکویی سینمای ایران سینما
رژیم صهیونیستی اسرائیل فلسطین غزه آمریکا جنگ غزه روسیه حماس ترکیه نوار غزه انگلیس اوکراین
استقلال فوتبال پرسپولیس علی خطیر سپاهان باشگاه استقلال تراکتور لیگ برتر جواد نکونام لیگ برتر ایران رئال مادرید لیگ قهرمانان اروپا
هوش مصنوعی اینستاگرام اپل گوگل تبلیغات ناسا دبی
خواب فشار خون کبد چرب